Эллипсометрия с бинарной модуляцией состояния поляризации

Развивается предложенное автором в конце семидесятых годов прошлого века новое направление в эллипсометрии - эллипсометрия с бинарной модуляцией состояния поляризации. Приведено описание разработанных авторами методов измерений и оригинальных устройств поляризационной оптики –бинарных модуляторов состояния поляризации и соосных ахроматических компенсаторов. Представлены результаты некоторых исследований, выполненных на созданных на их основе прецизионных спектральных эллипсометрах с бинарной модуляцией состояния поляризации. Отмечается перспективность широкодиапазонных сканирующих и многоканальных светодиодных спектральных эллипсометров с бинарной модуляцией. Монография может стать руководством при выборе поляризационных элементов, методов и схем эллипсометрических измерений. Предназначена для научных работников, аспирантов, студентов соответствующих специальностей. Табл. 3. Рис. 59. Библиогр.: 101 назв.